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美國(guó)SONIX超聲波顯微鏡 ECHO LS?

簡(jiǎn)要描述:SONIX公司是世界 500 強(qiáng)丹納赫集團(tuán)(NYSE:DHR)下的全資子公司,是全球超聲波掃描檢測(cè)儀和無(wú)損檢測(cè)設(shè)備的領(lǐng)先制造商。自 1986 年成立以來(lái), SONIX在無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新,是一家基于微機(jī)平臺(tái),提供全數(shù)字化成像方案的公司。 SONIX 一直致力與技術(shù)革新,提供給客戶最領(lǐng)先的聲學(xué)檢測(cè)技術(shù)。 SONIX設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各種材料的無(wú)損檢測(cè), 包括半導(dǎo)體,汽車(chē)零件和其他先進(jìn)元件。擁有獨(dú)立開(kāi)發(fā)的軟件,硬件和專(zhuān)利技術(shù),這么多年來(lái)通過(guò)和客戶不斷合作,實(shí)現(xiàn)了 SAM 技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)

  • 更新時(shí)間:2024/10/25 0:00:00
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  • 產(chǎn)品型號(hào):ECHO LS?
詳細(xì)介紹

超聲波顯微鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測(cè)試行業(yè),是一種理想的無(wú)損檢測(cè)儀器,能夠有效地檢測(cè)器件或材料內(nèi)部的開(kāi)裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
其主要工作原理是,通過(guò)壓電陶瓷將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成超聲波(>20KHz),用超聲波對(duì)樣品內(nèi)部進(jìn)行高精度地掃描,根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異,獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為,電氣部件、機(jī)械裝置、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng)。

 

 

產(chǎn)品特點(diǎn)
SONIX Echo-LS 能檢測(cè)到小至 0.05um 的缺陷,而且對(duì)于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有卓越的檢測(cè)性能。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量,使用 ECHO 的設(shè)備和軟件容易的設(shè)置和使用

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    • 工藝過(guò)程監(jiān)測(cè)
    • 合格/失效分選
    • 專(zhuān)業(yè)認(rèn)證

SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類(lèi)型的應(yīng)用和材料。

其它關(guān)鍵特點(diǎn):

  • 減少實(shí)驗(yàn)室空間(占地面積小)
  • 鍵盤(pán)快捷鍵(方便移動(dòng)操作)
  • 全焊接機(jī)身框架(促進(jìn)平臺(tái)穩(wěn)定性)
  • 降低水槽高度(人體工程學(xué)設(shè)計(jì))
  • 可同時(shí)進(jìn)行反射掃描和透射掃描
  • 最大 360 度可視
  • 超大掃描面積
  • 水槽底部?jī)A斜(易于排干水)
  • 探頭隨 Z 軸移動(dòng)(取代托盤(pán)上下移動(dòng))
  • 可滑動(dòng)支架
  • 符合歐洲機(jī)械指令
  • 緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(低維護(hù))
  • 符合 CE,SEMI S2,NRTL
  • 可滑動(dòng)的電氣面板(方便維護(hù))
  • 防靜電涂層(安全罩、水槽、門(mén)等)

 

技術(shù)參數(shù):
機(jī)臺(tái)尺寸 79cm*9cm*22cm 步進(jìn)軸(Y) 定位裝置:低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá)
掃描軸(X) 定位裝置: 線性伺服馬達(dá) 分辨率:0.25um
最大速度:1000mm/sec 最大掃描區(qū)域:350mm
重復(fù)精度:+/-0.5um 聚焦軸(Z) 定位裝置:低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá)
編碼器分辨率:0.5um 分辨率:0.25um
最大掃描區(qū)域:350mm 最大行程:50mm
夾具 JEDEC標(biāo)準(zhǔn)尺寸托盤(pán)夾具 脈沖發(fā)生器 DPR500 接收器配置L2/H4脈沖發(fā)生器
掃描平臺(tái)可固定特有的托盤(pán)夾具  可選U4超高頻脈沖發(fā)生器 
 透射桿探頭固定   流體系統(tǒng)   循環(huán)泵和5um過(guò)濾器 
注:ECHO LS是目前國(guó)內(nèi)使用最廣泛的一款型號(hào)

 

其它特色軟件功能選項(xiàng)

  • TAMI  SCAN: 一次掃描得到最多 200 張斷層圖像
  • ICEBERG: 強(qiáng)大的離線分析技術(shù)
  • WinIC Pro: 增加功能和分析
  • WinIC Offiline:遠(yuǎn)程分析
  • Waveform Simulator/Beam Emulator :波形仿真器

 
ECHO 機(jī)臺(tái)面板與 WinIC 軟件的組合,給用戶提供一個(gè)強(qiáng)大、簡(jiǎn)易使用的分析工具。WinIC 軟件是 Sonix 公司獨(dú)家研發(fā)的超聲波掃描顯示鏡成像軟件,提供先進(jìn)的圖像分析功能以幫助定量和定性分析圖像數(shù)據(jù)。WinIC 使用大量的圖形和屏幕指導(dǎo)幫助所有用戶,從入門(mén)到精通。

 

SONIX 軟件優(yōu)勢(shì)

 

● 可編程掃描,自動(dòng)分析
    定制掃描程序,一鍵開(kāi)始掃描,自動(dòng)完成分析,生成數(shù)據(jù)

         

● FSF表面跟蹤線
    樣品置于不平的情況下,自動(dòng)跟蹤平面,獲取同一層面圖片

         

 

● ICEBERG離線分析
    存儲(chǔ)數(shù)據(jù)后,可在個(gè)人電腦上進(jìn)行再次分析

 

● TAMI斷層顯微成象掃描
    無(wú)需精確選擇波形,可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度,一次掃描可獲得200張圖片,最快速完成分析。

 

 

 

 


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